半導体と水晶振動子のマッチングに関する情報をご覧ください。
日本の伝統的な微細加工とともに、QMEMSをご紹介します。
・ オープンタイプ製品の洗浄は避けてください。
・洗浄に悪影響を及ぼす洗浄剤、溶剤等の使用は避けてください。