何谓QMEMS

原来的机械加工首先将石英切成片后对每片进行倒角。因此，每片石英芯片的形状均不相同。与此相对，光刻加工是以晶圆为单位进行精微加工。所以，形状不均可以控制到较小。形状不均将引起石英晶体元器件的特性不均。

使用光刻加工技术，可以使石英晶体芯片的形状保持均一。与机械加工（左）相比，即使是超小型石英晶体单元，也可以实现不均度少的优越的温度特性（右）。

AT型晶体、振荡器的小型化可以为便携式仪器的小型化、多功能化赋予贡献。