何谓QMEMS

使用光刻技术对振动片进行三维立体加工 不改变以前的构造（左图）进行小型化时，电极（红色部分）的面积会变小。
通过形成H型槽的构造，既确保了电极的面积，又提高了电解效率。

因此实现了即使是小型也具有与以前的规格同等的低CI值。