プレスリリース

2005年11月14日

水晶振動子で高精度な圧力センサをエプソントヨコムが商品化
産業機器、セキュリティーソリューションなど、幅広い分野での応用が可能

　エプソントヨコム株式会社（社長：加々美 健雄）は、この度、水晶振動子を使用することで、高精度な圧力測定を要求される製造装置、ダム・河川の水位モニターなどの環境計測機器、セキュリティーソリューションなどにも対応可能な高精度水晶圧力センサ「TSUシリーズ」を商品化し、センサ事業のラインナップを拡充いたしました。
　サンプル価格は４０万円/個で、2005年11月下旬よりサンプル出荷を開始いたします。

　「TSUシリーズ」は、搭載された水晶振動子の周波数が圧力によって変化する現象を利用した水晶圧力センサです。優れた安定性と速い応答性を有する双音叉水晶振動子^（*1）を使用することにより、高感度でありながら、再現性^（*2）、ヒステリシス^（*3）、温度特性に優れた高精度の圧力測定を可能としています。
　また、発振回路を内蔵することにより周波数を出力しますので、ケーブル長による影響を少なくでき、機器などへの組み込みが容易になっております。

　今回の商品は、11月15日（火）～18日（金）に東京ビックサイトで開催されます、“INCHEM TOKYO 2005 プラントショー”にて、中央化工機商事株式会社様ブース（ブース番号;東1H 3-01）にて高精度を体感できますデモンストレーション機器と共に出展されます。

　エプソントヨコムは、３Ｄ戦略^（*4）の一つの柱としてセンサ事業を今後もさまざまな応用分野で活用できるよう、研究開発を続けていく所存です。

【用語説明】

*1)双音叉水晶振動子：（下図１）の通り、音叉型の振動子を２つ結合し屈曲振動を利用したもの。Ｑ（共振尖鋭度）が高い特徴を持ち、優れた安定性と高精度、速い応答性を特長とした振動子。

（図１）

*2)再現性：繰り返し測定を行っても、測定値が同じ値になること。精度の高さを表す。

*3)ヒステリシス：低い圧力から高い圧力へ変化したときの測定値と、高い圧力から低い圧力へ変化したときの測定値の差。ヒステリシスが小さいと、精度が高い。

*4)３Ｄ戦略：エプソントヨコムでは、3つのデバイスを柱に商品戦略を進めていく。
【タイミング・デバイス】水晶振動子/共振子、発振器、リアルタイムクロックモジュール、フィルタなど
【センシング・デバイス】ジャイロセンサなどの物理量を電気信号へと変換するデバイスなど
【オプト・デバイス】デジタルカメラの画像補正用ＯＬＰＦやＤＶＤドライブの光ピックアップなど

●高精度水晶圧力センサの動作原理
　双音叉水晶振動子に応力を加えると共振周波数がほぼ直線的に変化する（下図２）性質を利用し、感圧素子には応力感度に優れた屈曲振動モードの双音叉型水晶振動子を用いている。

（図２）

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