プレスリリース

2008年9月24日

小型と高性能を両立した水晶絶対圧センサを開発
QMEMS技術によるオリジナルの受圧構造で実現

エプソントヨコム株式会社（社長：宮澤　要）は、この度、QMEMS^(*1)技術を駆使したオリジナル受圧構造の採用により、±10Pa^(*2)（約1万分の１気圧^(*3)）の高精度と0.1Paの高分解能^(*4)という高性能でありながら、体積12.5cc、重量15gという小型サイズの水晶絶対圧^(*5)センサを開発いたしました。

2009年度の商品化を目指しております。

圧力センサでは、一般的に小型化すると性能が低下し、高性能を求めると構造が大きくなるという技術的課題があります。

エプソントヨコムでは、感圧素子に音叉型水晶振動子を採用し、安定度の高い発振周波数を得ることで、高精度で高分解能な水晶圧力センサを実現いたしました。
さらに、QMEMS技術を駆使したオリジナルの受圧構造を新たに開発し、小型と高性能を両立する製品を可能にいたしました。

これにより、以下のような気象関係やセキュリティー関係を始めとする圧力センサを使用する様々な機器の小型化と性能向上の両立に大きく貢献できます。
■ 気象観測における大気圧の高精度計測の用途
■ 大気圧の変化による高低差（約1cm単位での高さ）計測の用途
■ 屋内におけるドアや窓等の開閉による微小な内圧変化の検出用途

さらには身近な機器への搭載により高精度気圧測定など新たな分野への応用の可能性を秘めた製品です。

現在エプソントヨコムでは、本製品に採用したオリジナル受圧構造を水平展開し、様々な用途に適応した水晶圧力センサの開発を進めており、今後もQMEMS技術による微細加工技術および水晶発振器で培った高安定発振回路技術と高精度検出技術を進化させ、さらなる高性能化、小型化を目指しております。