プレスリリース

2009年6月23日

独自構造により液体圧力を直接計測できる
高精度水晶圧力センサ「XP-7000シリーズ」を開発

エプソントヨコム株式会社（社長：宮澤　要）は、この度、液体圧力を受圧素子に直接伝達して計測する高精度水晶圧力センサ「XP-7000シリーズ」を開発いたしました。

2009年10月の商品化を予定しております。

一般に、高精度計測用の圧力センサでは、オイル等の圧力伝達媒体を介して計測する構造が採用されていますが、「XP-7000シリーズ」は、受圧素子にQMEMS^(*1)技術を用いた高安定な水晶振動子（双音叉型水晶振動子^(*2)）を使用し、さらに、当社独自の圧力伝達構造を採用することで、圧力精度：±0.05 %FSと高精度で、直接計測が可能な圧力センサの開発を完了いたしました。

近年では様々な点で環境への配慮が高まっておりますが、「XP-7000シリーズ」は、オイルやガスの排出のない環境に配慮した製品です。さらに、この独自構造の採用により、従来製品に比べ体積比で約43 %となる小型化を実現いたしました。

このような特長を活かして、河川や上水道などの水位計測をはじめ、清浄な環境下での液体圧力のレベル計測や、工業プラントなどの産業装置における高精度圧力計測を実現できます。

なお、「XP-7000シリーズ」には、電線を長く引いても出力レベルを確保するバッファ回路を付加した「XP-7000MB」と、低消費電流に対応した「XP-7001MB」の2タイプを準備し、アプリケーションの用途に応じて選択いただけます