プレスリリース

2010年8月24日

高さ換算で3 cm単位の気圧変化を検出
高精度・高分解能の絶対圧センサ「XP-6000CA」を開発

エプソントヨコム株式会社(社長：矢島　虎雄)は、このたび、高精度・高分解能と小型サイズを両立した絶対圧センサ「XP-6000CA」を開発いたしました。

2010年10月よりサンプル対応を開始いたします。

当社では、高精度な圧力測定を要求される製造装置や、ダム・河川の水圧から水位を計測する計測器向けなどに、高性能の水晶圧力センサを開発・販売してまいりました。この計測機器用の水晶圧力センサで培った技術を基に、その精度・分解能を維持しながら、モバイル機器でも使えるまでの小型化を進めてまいりました。

この度、開発した「XP-6000CA」は、QMEMS技術^(*1)を駆使した独自の受圧構造を開発することで、圧力総合精度：±30 Pa、分解能：0.3 Paという高精度・高分解能であると同時に、7.0 × 5.0 × 2.0t mmというサイズにまで小型化することに成功いたしました。

高精度・高分解能という特長に加えて、「XP-6000CA」は、水晶をセンサ素子の素材としているため、温度などの外部環境の変化に対して安定したセンサとなっております。

さらに、圧力計測を行うために水晶振動子の計測技術を応用した周波数カウント方式を採用する事で、ノイズの影響を受けにくい圧力計測を実現しました。

0.3 Paの分解能というのは、例えば高さが1 cm変化すると気圧が約0.1 Pa変化しますので、0.3 Paの気圧変化は、高さに換算して約3 cm単位での変化量が検出できるということになります。このような微小な圧力変化の検出を小型サイズで実現することで、活動量計^(*2)やPersonal Navigation Device ^(*3)などのモバイル機器においてより細かな高度計測をアプリケーションに取り入れることが可能となります。

また、産業用の気圧測定用などの装置においては、小型化・省スペース化に貢献できます。

エプソントヨコムは、小型圧力センサの分野において、このような高精度・高分解能の計測をご提供することで、アプリケーションの発展に貢献してまいります。

なお、10月5日（火）～10月9日（土）に幕張メッセにて開催されます『CEATEC JAPAN 2010』展示会場のエプソントヨコムブース（ブースNo. 6E29）にて、本製品を含む水晶デバイスの展示を行います。