トップページ＞プレスリリース

プレスリリース

2010年9月30日

水晶ジャイロセンサを搭載した「慣性計測ユニット（IMU）」を開発中
高精度・高安定・小型で産業・工業アプリケーションへのIMU普及を狙います

エプソントヨコム株式会社(社長：矢島　虎雄)は、当社独自のQMEMS^(*1)技術を用いた水晶ジャイロセンサによって培った技術を基に、新たに高精度・高安定・小型の「慣性計測ユニット（IMU^(*2)）」を製品化に向けて開発しております。

2011年4月に、開発サンプルをご提供する予定です。

当社は、今までに高品質な手振れ補正用途、高精度ナビゲーションシステム用途に向けたジャイロセンサや、モーションセンシング用の6軸センサ等の製品を世界中のお客様にご提案してまいりました。当社のセンサデバイスをご利用のお客様の様々なご質問やシステム課題解決をサポートしてまいりました。このお客様サービスのなかで培ったノウハウで、更に扱いやすく高性能な慣性測定をご提案したいと考えて、慣性計測ユニット（IMU）の開発を進めております。

現在開発中の慣性計測ユニット（IMU）は、±300 deg/s のジャイロセンサ3軸と±3 Gの3軸加速度センサを搭載した小型IMUであります。

角速度においては～6 deg/hrのバイアス安定性^(*3)と、～0.24 deg/√hrの角度ランダムウォーク^(*4)性能という優れた特性を実現しています。代表的な従来製品に比べ、それぞれ、約4分の1、約8分の1の高安定・高精度を実現しています。

さらに、高精度補正技術により、動作温度範囲内～0.005 (deg/s)/℃という高いバイアス温度安定性を実現しています。この特性についても、代表的な従来製品に比べて、約2分の1という安定度にあたります。

一般的にセンサは安定性能と小型化は相反するのですが、当社ではQMEMS技術を精緻とすることで、この性能を堅持しつつ、軽量なアプリケーションや可動機構への実装を容易にするパッケージの小型化を進めております。この様な扱い易さが慣性計測実現のお客様の技術上の導入障壁を緩和させ、少ない設計工数でアプリケーションへの慣性運動解析や制御の実装を可能に致します。

本製品は、産業・工業システムのモーション解析・制御、移動体制御、振動制御・安定化といった幅広い用途に向けて開発を進めており、その高安定、高精度、小型と言った特長が産業・工業用途の新しい応用やアプリケーションの差別化を容易にし、同市場での更なるIMU普及を進めることができると考えています。

なお、10月5日（火）～10月9日（土）に幕張メッセにて開催されます『CEATEC JAPAN 2010』の展示会場のエプソントヨコムブース（ブースNo. 6E29）にて、本製品を含む水晶デバイスの展示を行います。

【主なターゲットアプリケーション】

・モーション解析・制御
・移動体制御
・ナビゲーションシステム
・振動制御・安定化
・運動解析

【本慣性計測ユニット（IMU）の概仕様】

		（代表的な従来製品との比較）
１）	高精度･高安定性ジャイロバイアス安定性^(3) 角度ランダムウォーク^(4)	：～6 deg/hr　（約4分の1）：～0.24 deg/√hr　（約8分の1）
２）	バイアス温度安定性	：～0.005 (deg/s)/℃　（約2分の1）
３）	6軸センサ	： 3軸ジャイロセンサ, ±300 deg/s 　 3軸加速度センサ, ±3 G
４）	デジタルシリアルインターフェイス	： SPI/UART

【用語説明】

（*1）QMEMS 高安定・高精度などの優れた特性を持つ水晶素材である「QUARTZ」と、「MEMS」（微細加工技術）を組み合わせた造語です。半導体を素材としたMEMSにならって、水晶素材をベースに精密微細加工を施し、小型・高性能を提供する水晶デバイスを「QMEMS」と呼んでいます。
「QMEMS」は、エプソントヨコムの登録商標です。

（*2）慣性計測ユニット（IMU）別名IMU (Inertial Measurement Unit)といい、3軸の角速度と3方向の加速度からなる慣性運動量を検出する装置です。

（*3）ジャイロのバイアス安定性（Gyro Bias Instability）：指定された有限のサンプル時間と時間間隔の平均より計算されるジャイロ出力バイアスの1/fノイズ密度の特徴を持つ不規則変動量のことを言います。

（*4）角度ランダムウォーク（Angle Random Walk）：角速度のホワイトノイズによって引き起こされる一定時間の角度の誤差のことです。