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7.0×5.0 mmまで小型化した圧力センサで0.3 Paの分解能を達成 ※Preliminary

超小型圧力センサ イメージ 小型・高精度圧力センサ ・高精度・高安定 ・7.0 × 5.0 × 2.0t mmの小型サイズ

高精度の圧力センサとは、圧力のみに反応して、温度や湿度、衝撃や振動などの外乱要因に影響されにくいセンサです。
安定材料である水晶をセンシング素子にすることで、外乱要因の影響を受けにくく、高精度な圧力センサが実現できます。

Point! 水晶を使うと、こんなに小さくても高精度のセンサが出来ます。 ●小型 7.0 x 5.0 x 2.0t mm(弊社従来開発品の約1/200) ●高分解能 きめ細かい圧力の変化(0.3 Pa)を測定 ●高安定 温度や環境の変化の影響を受けにくい

高精度の実証

実際に弊社のセンサと他社のMEMSセンサのノイズ特性を下図によりご確認いただけると思います。

エプソントヨコムの水晶圧力センサ 他社のMEMS型圧力センサ

水晶を使うとこんなに安定した特性が得られます。優れた安定性により、分解能の高い高精度な圧力センサとしてさまざまなアプリケーションに応用が可能です。

デモ機で実証

高度が1 cm変わると、気圧もわずかに変化します。その変化量はとても小さく、0.1 Pa程度にしかなりません。このデモ機では、0.3 Paの分解能をもつ「水晶圧力センサ」を模型に搭載し、模型の上下移動による高低差を計測し、高精度を  ご覧いただけます。

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応用事例

  • セキュリティ 防犯システム
  • ナビゲーションシステム GPS補間
  • 計量器 微粉末計量
  • 速度計 スイング速度計測

さらにこんなことも

精度が良いからこんなことも考えました。
ゴルフスイングのヘッドスピードを計測してみました。

【面白い使い方】加速度から速度を計算するには、積分したり演算が複雑で、誤差が大きくなってしまいます。圧力センサで風速を検出することで、演算誤差が少なく精度の高い速度を求めることができます。

仕様

項目 仕様
計測範囲 30 kPa~ 130 kPa
総合精度 ±30 Pa Max.
直線性 ±5 Pa Max.
再現性 ±5 Pa Max.
温度特性 ±20 Pa Max.
分解能 0.3 Pa
使用温度範囲 -30 ℃~ +85 ℃
温度センサ 内蔵
入出力インターフェイス I2C
電源電圧 +3.3 VDC
外形寸法(mm) 7.0 × 5.0 × 2.0t (Max.)
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