エプソントヨコム株式会社｜Web展示会｜小型・高精度圧力センサ

微細加工を究めたQMEMS誕生の物語

日本の伝統的な微細加工とともに、QMEMSをご紹介します。

半導体と水晶振動子のマッチングに関する情報をご覧ください。

水晶デバイスに携わる様々な“人”へのインタビューです。

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Web展示会

高精度の圧力センサとは、圧力のみに反応して、温度や湿度、衝撃や振動などの外乱要因に影響されにくいセンサです。
安定材料である水晶をセンシング素子にすることで、外乱要因の影響を受けにくく、高精度な圧力センサが実現できます。

Point! 水晶を使うと、こんなに小さくても高精度のセンサが出来ます。　●小型 7.0 x 5.0 x 2.0t mm（弊社従来開発品の約1/200） ●高分解能きめ細かい圧力の変化（0.3 Pa)を測定　●高安定温度や環境の変化の影響を受けにくい

実際に弊社のセンサと他社のMEMSセンサのノイズ特性を下図によりご確認いただけると思います。

水晶を使うとこんなに安定した特性が得られます。優れた安定性により、分解能の高い高精度な圧力センサとしてさまざまなアプリケーションに応用が可能です。

高度が1 cm変わると、気圧もわずかに変化します。その変化量はとても小さく、0.1 Pa程度にしかなりません。このデモ機では、0.3 Paの分解能をもつ「水晶圧力センサ」を模型に搭載し、模型の上下移動による高低差を計測し、高精度をご覧いただけます。

動画をご覧いただくには、アドビシステムズ社が配布しているAdobe Flash Player（無償）が必要です。Adobe Flash Playerをインストールすることにより、Flashファイルの閲覧・印刷などが可能になります。

精度が良いからこんなことも考えました。
ゴルフスイングのヘッドスピードを計測してみました。

【面白い使い方】加速度から速度を計算するには、積分したり演算が複雑で、誤差が大きくなってしまいます。圧力センサで風速を検出することで、演算誤差が少なく精度の高い速度を求めることができます。