微細加工を究めたQMEMS誕生の物語
日本の伝統的な微細加工とともに、QMEMSをご紹介します。
半導体と水晶振動子のマッチングに関する情報をご覧ください。
水晶デバイスに携わる様々な“人”へのインタビューです。
エプソントヨコムの水晶圧力センサでは、高分解能、広範囲、高安定の実現に加え、エプソントヨコム独自のQMEMS技術により、高精度を維持しながら小型化を実現しました。
水晶の特性を活かした、独自の水晶圧力センサだからこそ、小型でもこんなに優れた圧力センサを、実現することができたのよ。
アプリケーションや動画デモも合わせてご紹介しております。どうぞご覧ください。