微細加工を究めたQMEMS誕生の物語
日本の伝統的な微細加工とともに、QMEMSをご紹介します。
半導体と水晶振動子のマッチングに関する情報をご覧ください。
水晶デバイスに携わる様々な“人”へのインタビューです。
高精度な圧力計測が可能になることできめ細かい圧力変化検出とそれを使った高精度な圧力コントロールが可能になります。 小型化が実現することでさまざまな機器、場所へ実装することが可能になります。
アプリケーションや動画デモも合わせてご紹介しております。どうぞご覧ください。